v 功能指标
ü 处理室: W140×D200×H110(mm)，可选
ü 等离子产生器: 100/200/300w，***大2kw，LF20~100kHz
ü 气体: Ar,N2,O2,H2,He,……
ü 外观尺寸: W580×D580×H340(mm)，可选
ü 选配: 石英管腔
RF产生器，13.56MHz，功率300W
RIE模式或Dual模式
v 产品系列
CUTE/COVANCE/COGRADE/COWIN等
v 应用领域
PDMS芯片制作、表面亲疏水改性、微纳器件、石墨烯，2D材料表面处理、Bio-MEMS芯片、半导体硅片衬底、硅粘合前活化、组织工程、食品科学等