大气等离子清洗机
v 功能指标
ü 等离子体: Direct, Remote Plasma
ü 气体: Ar,N2,O2,H2,He,……
ü 等离子产生器: RF, LF
ü 控制系统: 7”触摸PC,手动/全自动控制
ü 选配:X、Y、Z Robot控制
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详细信息 大气等离子清洗机 v 功能指标 ü 等离子体: Direct, Remote Plasma ü 气体: Ar,N2,O2,H2,He,…… ü 等离子产生器: RF, LF ü 控制系统: 7”触摸PC,手动/全自动控制 ü 选配:X、Y、Z Robot控制 |