产品名称：接触式DUV曝光装置
***：LTJ
型号：WEX-193MCE
关键词：ArF、KrF、接触曝光
***、简介
LTJ公司成立于1993年10月，提供光刻领域所需的技术和产品，为DUV光刻胶研发及验证提供低成本解决方案。WEX-193MCE是***款实验型接触式ArF曝光装置，并且可以拓展KrF光源。
二 、技术规格
基板尺寸：4寸
Mask尺寸：5寸
曝光载台
光源：ArF 193nm（KrF 248nm可选）
CD解析度：200nm
三、应用
适用于DUV光刻胶研发及验证。
接触式DUV曝光装置WEX-193MCE