产品名称：多探头几何参数测试仪（厚度+TTV/Warp）
***：E+H Metrology
型号：MX203-8-37
关键词：厚度+TTV/Warp
***、简介
德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。拥有超过54年开发经验保证了E+H产品能做到低产品成本、长的使用寿命以及低的维护和支持要求，提供可以想象到的成本/效益比。
、技术规格
晶圆直径：150mm， 200mm
厚度精度：±0.5um
分辨率：50nm
厚度范围：400 - 1000 um
手动测量
MX203-Q系列可测绝缘/半绝缘衬底厚度，如石英、铌酸锂、半绝缘SiC衬底等。
三、应用
适用于 150mm 和 200mm 硅晶圆和半绝缘绝缘衬底的快速非接触式几何测量仪。