技术参数： kSA MOS Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System，kSA MOS Film Stress Mapping System; 1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：300mm (XY)（可选）； 2.XY双向扫描速度：大20mm/s； 3.XY双向扫描平台扫描小步进/分辨率：2 μm ； 4.样品holder兼容：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直径样品； 5.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、全面积扫描； 6.成像功能：样品表面2D曲率、应力成像，及3D成像分析； 7.测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力、Bow和翘曲等；
薄膜应力测试仪