eVictor Series 8英寸物理气相沉积系统
eVictor Series 8 Inch PVD System
eVictor系列设备主要用于8英寸晶圆金属薄膜沉积***。该机台为多腔室前后双平台结构，可支持10个***模块，能够进行全自动***处理。系统主要由传输模块、***模块、灰区部件、电源柜等组成。其中***模块主要用于晶圆表面预处理和薄膜沉积，传输模块用于把晶圆安全而准确地送达到指定工位。
设备特点专业的加热基座设计，具备良好的温度均匀性，高温厚铝***连续作业无累温
高温铝***具备高深宽比填充能力
背金***薄片传输及***，过程温度实时监控，***的温度控制能力和良好应力控制能力
双腔传输平台，可支持10 个***模块
靶材利用率高，大产能，低运营成本
产品应用晶圆尺寸
8 英寸
适用材料
钛、氮化钛、高温铝、 镍、镍钒、银
适用***
正面电极***、背面金属化***
适用领域
集成电路、功率半导体、科研领域、化合物半导体