荷兰PANalytical X'Pert PRO MRD/XL 系列衍射仪
应用
专为半导体外延分析而设计：单晶外延材料、多晶薄膜材料、非晶薄膜材料
特点
- 测量方式：对称衍射，非对称衍射，摇摆曲线，双轴扫描
- 应用范围：应力和驰豫，失配和成分，曲率半径，衬底材料取向，厚度和超晶格周期
- 支持多样品位，自动装片系统（可选
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PANalytical高分辨X射线衍射仪
详细信息 荷兰PANalytical X'Pert PRO MRD/XL 系列衍射仪 应用 专为半导体外延分析而设计：单晶外延材料、多晶薄膜材料、非晶薄膜材料 特点
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