Ferrotec(***)自主研发的半导体用单晶炉,采用龙门式框架结构,稳定性好刚性强,驱动装置采用电动、气动方式,光轴润滑采用自润滑轴承,避免油脂污染,全自动控制拉晶过程,嵌入长晶控制系统,整合功率器件用超低电阻率单晶量产技术,采用超导体磁场,可拉制8/12英寸晶棒。 不同型号的单晶炉在设备运作效率、机械部件结构等方面各有差异。
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详细信息 Ferrotec(***)自主研发的半导体用单晶炉,采用龙门式框架结构,稳定性好刚性强,驱动装置采用电动、气动方式,光轴润滑采用自润滑轴承,避免油脂污染,全自动控制拉晶过程,嵌入长晶控制系统,整合功率器件用超低电阻率单晶量产技术,采用超导体磁场,可拉制8/12英寸晶棒。 不同型号的单晶炉在设备运作效率、机械部件结构等方面各有差异。 |