系统的测量头包括了压头、加载测试部件、用于判断压入深度的位移测量部件以及整个电子驱动系统。根据标准DIN EN ISO 14577-2，压头通常是选用136°面间角的金刚石四棱锥维氏压头，以满足工业领域苛刻的测量需求。此外，还可以选择金刚石三棱锥柏氏压头及球形硬质压头。测量头配有特别设计的外环支架，接触式的设计可以使得系统达到非常大的刚度。
测量过程中得到的测试载荷有着极高的精度，而压入深度的测量则能***到皮米***。灵敏度极高的压头接触探测系统，可以准确确定测试的零点位置。压头端部的曲率大小可由参照测量来确定，并在显微硬度测量过程中加以修正。显微硬度测量是由计算机控制完成，不受主观因素影响，不受操作人员影响的测量过程。
HM500纳米压痕仪