X'Pert3MRD XL 的设计和功能与 X'Pert3MRD 相同，但尺寸更大，并且配有增强的欧拉环样品台以支撑超大和沉重的样品。MRD XL 提供了可自动定心的晶圆样品架，允许装载和校准直径达 300 mm 的晶圆。
X'Pert3 MRD XL 是高产能环境的理想选择。它可以通过***个自动晶圆装载机械手进行扩展，该机械手具有从晶圆盒到晶圆盒的处理和操作软件，能够对晶圆进行批量处理。定制的解决方案可以安装在墙上。
X'Pert3 MRD XL 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中，从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为，即使是在高负载条件下，也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了***流的 Heidenhain 光学编码器，因而改进了短距离和长距离准确性，并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。