专为光刻机配套开发的高精度测量系统;
通过***重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套***”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器;
非线性高精密测量系统,测量更精准;
可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;
精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。
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详细信息 专为光刻机配套开发的高精度测量系统; 通过***重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套***”项目验收。 采用直接输出线偏振光的双频激光器; 非线性高精密测量系统,测量更精准; 可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。 光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统; 精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装; 标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。 |