满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻机用激光干涉测量系统为基础，
在保留高稳定性、高精度、高采样速率***性能的同时，
将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里，
***体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验；
典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。
系统组成：
LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
LaserLC测量软件
线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等）
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
LH2000双频激光干涉仪