主要特点
真空控制单元全部集合在-
个控制盒内。
2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷.
3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前***机械泵相连，提高效率)1个CF150闸板阀(直接与分子泵相) 1个KF16法兰(安装电阳规)、6个CF35法兰
(1个安装电离规，1个安装2芯电极，1个安装膜厚仪)3个备用。
4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
5、样品台安装在腔体的顶部。
6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率(铝)为0.1A.
7、可使用循环水冷机。
蒸发镀膜仪