液体颗粒度仪可检测光阻产品、SOG 等产品中0.15um 的颗粒◼ 可侦测到粒径0.15um 的粒子◼ 可自行设定的粒径范围0.15~0.5um,通过KE-40B1 的控制器可扩充至10 个通道出厂设定为4 通道:0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um◼ 综合泄漏传感器与报警输出◼ 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道(通过 KE-40B1)