增加了可视化模块的干涉测厚仪，对于测量微小器件可实现显微观测光斑所在位置。
Z轴动态测量范围 5-10mm（对距离无苛刻要求，在此范围波动均可测量）
超大工作距离，超大动态范围，适合在线测量，不受抖动影响
操作方便，***复杂校准
快速测量，是传统型号100倍速度
以太网通讯，更加稳定快速
主要应用领域：
PCB板涂层，半导体（硅，单晶硅，多晶硅）、半导体化合物、微电子机械（MEMS）、氧化物/氮化物、光刻胶、硬涂层、聚合物涂层、高分子聚合物 …
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显微干涉测厚仪
详细信息 增加了可视化模块的干涉测厚仪，对于测量微小器件可实现显微观测光斑所在位置。 Z轴动态测量范围 5-10mm（对距离无苛刻要求，在此范围波动均可测量） 超大工作距离，超大动态范围，适合在线测量，不受抖动影响 操作方便，***复杂校准 快速测量，是传统型号100倍速度 以太网通讯，更加稳定快速 主要应用领域： PCB板涂层，半导体（硅，单晶硅，多晶硅）、半导体化合物、微电子机械（MEMS）、氧化物/氮化物、光刻胶、硬涂层、聚合物涂层、高分子聚合物 … |