FPD 基板缺陷检测 FPD Mask缺陷检测
技术特点***大支持8.5代面板尺寸
支持Loader自动上下片，支持与AGV对接自动上下片
支持竖放、平放两种规格配置
双光学头扫描，极大提高检测效率
透射+反射同时检测，可同时检测针孔、颗粒、划伤
支持DB 、DD检测模式
客户价值高速，高精度掩模版检测，提升良率，降低客户TCO
安装条件设备尺寸：4700mm (L)x1900mm(W)x2950mm(H)
洁净度：10***
设备重量：6000Kg
湿度：45%－55%
设备功耗：8.8KW 220Vt
压缩空气：0.6Mp 无油过滤压缩空气
