***台湾Reliya半导体特殊材料气体在线颗粒数仪同时进行四通道颗粒量测，量测范围为 0.1μm 以上，0.2μm 以上， 0.3μm 以上，0.5μm以上流量： 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量测大宗气体及***般惰性气体检测气体时，机台内部气体残留之问题支持 N2 , CO₂ , Ar , He , CDA ,等气体以连续在线检测管道气微颗粒，稳定性，可靠性好日常维护方便，检测气体时，机台内部气体残留之问题，防爆設計支持 H2 , O2 , 等气体，自动粒子计数器控制，数据采集，实时 图形显示，可以记录和打印输出测试结 果输出 显示屏幕： 7 寸彩色触摸屏 数据输出: USB, RS232 机壳 主体 ： 240 mm (H) X 380 mm (W) X 480 mm (D) 22 Kg 显示器： 180 mm (H) X 240 mm (W) X 315 mm (D) 8 Kg 功率：100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz, 2.0 Amp
