立式中型等离子清洗机，触摸电脑+PLC多步流程全自动控制，全电路检测，用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物，中批量生产机型。
技术参数
◆ 等离子发生器(美国MKS)
频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等***电器元件，性能稳定可靠,并具有 手动、自动两种模式
◆ 真空系统
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆ 充气系统
美国AE高精度电子***流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双***减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
相关应用
- 光刻胶清洗
- 表面改性
