RIE反应离子刻蚀机
v 功能指标
ü 电极或基片尺寸: 9.2inch
ü 等离子体: RF 300w，13.56MHz
ü 气体管线: ***多6路气体
ü 控制系统: 7”触摸PC，手动/全自动控制
ü 外观尺寸：W680×D1100×H1300(mm)
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RIE反应离子刻蚀机
v 功能指标
ü 电极或基片尺寸: 9.2inch
ü 等离子体: RF 300w，13.56MHz
ü 气体管线: ***多6路气体
ü 控制系统: 7”触摸PC，手动/全自动控制
ü 外观尺寸：W680×D1100×H1300(mm)
