PANalytical高分辨X射线衍射仪

荷兰PANalytical X'Pert PRO MRD/XL 系列衍射仪

应用

专为半导体外延分析而设计：单晶外延材料、多晶薄膜材料、非晶薄膜材料

特点

• - 测量方式：对称衍射，非对称衍射，摇摆曲线，双轴扫描

• - 应用范围：应力和驰豫，失配和成分，曲率半径，衬底材料取向，厚度和超晶格周期

• - 支持多样品位，自动装片系统（可选