自动晶圆磨边倒角机

全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆、8″-12″晶圆

• 适用于晶圆倒角、晶圆磨边及层阶倒角加工

• 机械臂自动上下料，全自动生产

• 可加工参考边型晶圆及Notch型晶圆

• 自动进行粗研及精研加工

• 可自动检测晶圆直径

• 配备晶圆清洗功能

• 配备晶圆干燥功能

  可选配SECS/GEM与MES系统联接