多波长椭偏仪

优势

n 寿命长（长达 50,000 小时），更换 LED 灯便宜，校准时 间短或*** PM 程序

n 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定

n 测量***，只有椭偏仪可以实现

n 软件设置和维护简单

标准 FS-1 配置

n 65°入射角

n 手动放置样品和调节高度

n 样品尺寸zui大直径 200mm 和厚度 23mm

n 样品偏转范围+/-20

n 样品上光束尺寸 5 x 12 mm

n 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)