X'Pert3MRD 经过专门设计,符合现代材料研发实验室的要求。X'Pert3MRD 的开发重点考虑了薄膜应用的需要,因此提供了多种样品架,可容纳直径达 200 mm 的晶圆,亦能用于晶圆表面的多点扫描。其大型样品台可以装载多个样品。
X'Pert3 MRD 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中,从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为,即使是在高负载条件下,也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了***流的 Heidenhain 光学编码器,因而改进了短距离和长距离准确性,并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。
X'Pert3 MRD 的欧拉环样品台可实现高精度、可重复且无障碍的移动,方便进行样品旋转、倾斜以及 x 轴、y 轴和 z 轴平移,确保为要求严格的 XRD 应用实现用途广泛且准确的样品定位。
马尔文帕纳科的 PreFIX(预校准且可快速更换的 X 射线模块)概念使 MRD 能够在***重新校准的情况下进行更换配置。当实验要求发生改变时,可以轻松添加新的 PreFIX 组件,这使得整套方案变得灵活、快速且能满足未来的需要。可提供选择丰富的 PreFIX 模块