应用场景:
半导体厂、光电厂之离子植入制程端、蚀刻制程端、厂务端的特气处理。
各种酸、碱、剧毒、易燃尾气、挥发性有机物（VOCs）、氮氧化物（NOx）等吸附塔等废气处理。
广泛应用于多种领域，光伏单/多晶、铜铟镓硒***尾排、晶圆制造、芯片封装、测试、化学研究实验室，生物实验室等等。
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应用场景:
半导体厂、光电厂之离子植入制程端、蚀刻制程端、厂务端的特气处理。
各种酸、碱、剧毒、易燃尾气、挥发性有机物（VOCs）、氮氧化物（NOx）等吸附塔等废气处理。
广泛应用于多种领域，光伏单/多晶、铜铟镓硒***尾排、晶圆制造、芯片封装、测试、化学研究实验室，生物实验室等等。
