CS300***流量控制器&流量计

CS300气体***流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体***流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理***，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。