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HAMAMATSU 日本滨松
是否进口
是
重量
1800kgkg
型号1
PHEMOS-1000
型号2
PHEMOS-X
主机尺寸
1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H)
控制架尺寸
880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H)
操作台尺寸
1000 mm (W)×800 mm (H)×700 mm (D)
线路电压
交流 200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗
约 1400 VA（***大 3300 VA）
真空度
约 80 kPa 或以上
压缩空气
0.5 MPa ～ 0.7 MPa
测量范围
532nm~1340nm
测定对象
晶圆（切割芯片，裂纹晶圆）封装IC
触针观察方式
相机观察
