Hybrid系列复合式闪测仪

稳固移动平台结构

1.精密大理石机台，稳定性好，精度高。

2.精密线性滑轨和伺服控制系统，超低分贝静音***运动。

3.三轴全自动可编程检测，实现复杂特征批量检测。

混合镜头、兼顾效率与精度

1.高分辨率镜头和大视野镜头组合测量，兼顾测量效率和精度。

2.支持表面光、透射光、同轴光分段编程控制。

3.自动识别测量部位，每次都能获得统***稳定的测量结果。

自动测量，批量更快

1.程序匹配工件坐标系，自动执行测量流程。

2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入，坐标系匹配测量。