产品特点1、电极采用水循环制冷，提高设备使用寿命；
2、宽幅可定制；
3、可对接上下游设备实现在线式处理；
4、处理温度低38°；
5、对芯片及薄膜无损伤。
名称 | 在线式氩气等离子处理机 |
型号（Model） | PLASMA-AR-P500 |
电源（Power supply） | 220/AC，50Hz |
功率（ Power） | 1000W（Max） |
有效处理宽幅（Processing width） | 20mm-800mm（Option） |
有效处理高度（Processing height） | 1mm-3mm（Max） |
处理速度（Processing speed） | 0-5m/min（视处理效果而定） |
工作气体（Gas） | AR或AR+O2 |
