科研设备
科研设备主要应用于科研领域,适合大专院校、研究院所使用。其特点是:
● 强调参数的趋极限性,为各种可能的科研项目提供***佳实验参数;
● 自行配置参数的灵活性高,操作略微复杂,要求操作者对离子注入的物理原理有***定了解;
● 不强调产能和效率,仅考虑少量的样品处理,样品处理时间以实验需求可能会较长。
离子注入机BPR1
BPR1型科研用离子注入机,其***显著的特征是无离子筛选系统。BPR1将靶材电离后不加区分(不区分离子类型,不区分同位素,不区分离子价态)地全部注入到工件基材内,对于金属表面改性和其它不区分离子能量的应用而言,这是***款性价比极优的设备。
BPR1型离子注入机的离子源可选,您可以根据需要选择***适合的离子源。
BPR1型离子注入机的其它***般参数如下:
*引出电压: 0~80kV
*引出束流: 0~20mA
不均匀性: ≤8%
束斑尺寸: Φ100mm~Φ350mm
*极限真空: 5×10-5Pa
*工作真空: 6×10-4~2×10-3Pa
-- 带*号指标表示用户可以提出更高的定制要求
-- BPR1可叠加各种可选部件