BPR2型离子注入机在BPR1的基础上增加了磁筛选器,可以筛选出纯净的离子。由于增加了磁筛选器,其真空腔也从1个增加为2个。
BPR2型离子注入机的离子源可选,您可以根据需要选择***适合的离子源。
BPR2型离子注入机的其它***般参数如下:
*引出电压: 0~80kV
*引出束流: 0~5mA
不均匀性: ≤8%
束斑尺寸: 15mm×15mm
*磁筛选能力: 40(m/Δm)
*极限真空: 5×10-5Pa
*样品腔工作真空: 1×10-4~2×10-3Pa
-- 带*号指标表示用户可以提出更高的定制要求
-- BPR2可叠加各种可选部件