适用于面积较大、形状复杂的材料清洗，可搭配双路或多路***气体，气体控制稳定，高密度等离子源，保证全方位均匀清洗。单次可处理多片/批次材料，处理效率高。根据行业需求可定制真空等离子流水线设备，全自动工作，减少人力成本。45°的的间STOP***键急停保护按钮多路***气体控制密封性真空腔体45°超低清洗温度工作原理WORKING PRINCIPLE真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场，用真空泵实现有效的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长，受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动，不断轰击被处理物体表面，去除表面有机污染物或其它杂质，以此达到表面处理清洗、活化、刻蚀的效果。结构组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、***气体系统、真空泵系统。高压激励电源控制系统与体流量计路气体真空腔体流量计真空泵路抽气大气客制化配件CUSTOM ACCESSORIES客制化腔体容量，可定制5L-2000L横电极腔体竖电极腔体适用于小批量生产及科学研究，适用于小批量生产及科学研究，广泛应用于芯片、摄像头模组、广泛应用于LED行业，适用于各PCB、FPC、晶元等产品处理！种类型产品治具或结构。可选泵组，效率提升油泵干泵罗茨泵
