HCT55-100 高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供***个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。
●载片台:直径2" ，具有Guard保护功能，温控稳定时间小于30分钟
●载片台温度范围: 80k-475k
●观察窗: 直径40mm，样品到显微镜物镜***小距离8mm
●真空腔真空度: < 5X10-4Torr，配隔振水平安装底座
●针座三维调节范围: ±5mm（X、Y、Z）
●针座分辨率: 5μm，多探针座具有同时升、降（接触/分离0.66mm）功能设计
●探针接头: 三同轴Triaxial Tubular-2.0插头连接，具有Guard保护功能，适合fA***测试，50欧姆传输阻抗
●控温仪: 四通道，可同时对样品台、防辐射屏和探针臂进行控制和监视
●显微镜调节机构: 多维度调节，XY方向± 45mm，Z方向30mm，整体后仰角20 º可调，显微镜的前后倾角为30度
●光学观测系统: 三目体视显微镜（分辨率小于5μm）、同轴灯和环形灯及电源、配接130万像素彩色CCD、20″
