独有聚焦微束惰性气体离子束
极低修复电压：50 eV
聚焦束斑直径：1μm
定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象
采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位
离子束可以对准定点位置或在***个选定的区域进行进行精细修复
配备液氮冷台，去除热损伤
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独有聚焦微束惰性气体离子束
极低修复电压：50 eV
聚焦束斑直径：1μm
定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象
采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位
离子束可以对准定点位置或在***个选定的区域进行进行精细修复
配备液氮冷台，去除热损伤
