电子束氩离子束双束精修系统

 
 
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光束 电子束与离子束
更新 2023-06-02 13:10
 
详细说明

双束系统中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌,聚焦离子束用来对样品进行在微纳米尺度下的图形沉积、切割、刻蚀、透射样品制备及原子探针

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