液体颗粒度仪
可检测光阻产品、SOG 等产品中0.15um 的颗粒
◼ 可侦测到粒径0.15um 的粒子
◼ 可自行设定的粒径范围0.15~0.5um，通过KE-40B1 的控制器可扩充至10 个通道
出厂设定为4 通道：0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
◼ 综合泄漏传感器与报警输出
◼ 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道（通过 KE-40B1）
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液体颗粒度仪
可检测光阻产品、SOG 等产品中0.15um 的颗粒
◼ 可侦测到粒径0.15um 的粒子
◼ 可自行设定的粒径范围0.15~0.5um，通过KE-40B1 的控制器可扩充至10 个通道
出厂设定为4 通道：0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
◼ 综合泄漏传感器与报警输出
◼ 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道（通过 KE-40B1）
