应用：
· 刻蚀：氧化物刻蚀 RIE模式， 氮化物刻蚀RIE模式， 硅刻蚀 RIE模式， 光刻胶刻蚀 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二维材料 RIE
· 表面处理：亲水处理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增强：PE+RIE，高分子： RIE+PE
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应用：
· 刻蚀：氧化物刻蚀 RIE模式， 氮化物刻蚀RIE模式， 硅刻蚀 RIE模式， 光刻胶刻蚀 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二维材料 RIE
· 表面处理：亲水处理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增强：PE+RIE，高分子： RIE+PE
