FAPS2000H 8英寸高速全自动测试探针台针对8英寸晶圆片测试而设计的***体化在片测试解决方案。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散,同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。为了保证高压测试的人身安全,采用了安全互锁系统机构和测试系统***联;wafer图形分布描述,芯片图像对准,坐标定位等功能,同时配置经典的四向迷你位置操作键盘。
FAPS2000为可升***平台结构,可通过升***Chuck盘扩展加热和变温功能,加热范围到150°C,变温范围为-50°C~150°C。提供高功率Chuck盘升***,支持3kV,20A功率器件测试。
全自动测试探针台采用直线电机,可通过硅片传输机构进行自动上下片,机械手传输具有良好的稳定性,准确性以及高洁净度等优点,能够更好的提高生产效率。