关键尺寸CD手动、自动测量 套刻手动、自动测量 基于Recipe的自动测量
技术特点同时兼容4、6、8寸Wafer，灵活方便
双 Port循环式上下料，减少操作员等待时间
支持手动测量及基于recipe的自动测量
支持白色、RGB等多种波长照明光源
支持多种边缘提取算法
客户价值监控制程过程中关键尺寸精度、提升产品******致性
安装条件整机尺寸：1350 x 2000 x 2000 mm
设备重量：1500Kg
峰值功率：4.5Kw
电源：220V 50Hz
压缩空气：0.45 Map
真空：-65 ~ -100 Kpa
内部洁净等***：十***
