FPD 基板缺陷检测 FPD Mask缺陷检测
技术特点***大支持8.5代面板尺寸
支持Loader自动上下片,支持与AGV对接自动上下片
支持竖放、平放两种规格配置
双光学头扫描,极大提高检测效率
透射+反射同时检测,可同时检测针孔、颗粒、划伤
支持DB 、DD检测模式
客户价值高速,高精度掩模版检测,提升良率,降低客户TCO
安装条件设备尺寸:4700mm (L)x1900mm(W)x2950mm(H)
洁净度:10***
设备重量:6000Kg
湿度:45%-55%
设备功耗:8.8KW 220Vt
压缩空气:0.6Mp 无油过滤压缩空气